成膜方式と真空蒸着のメリット

成膜方式

成膜には、真空蒸着以外にもさまざまな方式があり、方式ごとに特徴があります。

真空蒸着のメリット

  • 大量生産可能
  • 高度な膜厚制御が可能
  • 薄膜の密着性や均一性がよい
  • 成膜速度が速い
  • さまざまな種類の薄膜を成膜できる
  • 成膜する基板へのダメージが低い
  • 膜の純度が高い