成膜方式と真空蒸着のメリット 成膜方式 成膜には、真空蒸着以外にもさまざまな方式があり、方式ごとに特徴があります。 真空蒸着のメリット 大量生産可能 高度な膜厚制御が可能 薄膜の密着性や均一性がよい 成膜速度が速い さまざまな種類の薄膜を成膜できる 成膜する基板へのダメージが低い 膜の純度が高い Page Top
成膜方式と真空蒸着のメリット 成膜方式 成膜には、真空蒸着以外にもさまざまな方式があり、方式ごとに特徴があります。 真空蒸着のメリット 大量生産可能 高度な膜厚制御が可能 薄膜の密着性や均一性がよい 成膜速度が速い さまざまな種類の薄膜を成膜できる 成膜する基板へのダメージが低い 膜の純度が高い