成膜方式と真空蒸着のメリット

成膜方式

成膜には、真空蒸着以外にもさまざまな方式があり、方式ごとに特徴があります。

真空蒸着のメリット

• 大量生産可能
• 高度な膜厚制御が可能
• 薄膜の密着性や均一性がよい
• 成膜速度が速い
• さまざまな種類の薄膜を成膜できる
• 成膜する基板へのダメージが低い
• 膜の純度が高い