ガスバリアコーティング LUMILEAD SiO
特徴
- 蒸着時のスプラッシュ発生を抑制(社内試験において85%削減)
- 屈折率2.0～1.45程度(条件により変動)
- 樹脂の密着層として優れた密着性を発現
成膜時のスプラッシュ発生数評価
| 測定条件 | |
|---|---|
| 測定装置 | 微粒子可視化システム |
| 計測時の成膜レート | 3 Å/sec |
| 計測時間 | 10秒 ※蒸着開始60秒から70秒まで（両材料のレート・EB出力が安定したところ） |
| 測定結果 | |
|---|---|
| スプラッシュ発生数 | 以下の図に記載 |
図. 発生したスプラッシュの積算合成画像
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