成膜事例

介绍搭配了防止反射和防污涂层的成膜事例。

  1. OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100
  2. OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100
  3. 脱气Nb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100

1 OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜构成

蒸镀材料

设定膜厚[nm]
基板 BK7 ―
第1层 SiO2(E) 20
第2层 OS-50 14
第3层 SiO2(E) 33
第4层 OS-50 111
第5层 SiO2(E) 83
第6层 SURFCLEAR 100(M) 12～14
Air ― ―

※仅限基板单面成膜ム機

测定结果

分光特性
AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

Fig.6　AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

AR+AF膜的分光特性(透光率)

Fig.7　AR+AF膜的分光特性(透光率)

AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

Fig.8　AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)

Fig.9　AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)

对 水 的 接触角 评价
接触角 117[deg.]

水 2.5 [ μ L] 5 次 测定平均值

耐磨损试验
耐磨耗試験NG 回数 3000～4000 ［次］

磨损材料：钢棉#0000　　载荷：1kg

2 OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜构成

蒸镀材料

设定膜厚[nm]
基板 BK7 ―
第1层 SiO2(E) 15
第2层 OH-14(A) 16.5
第3层 SiO2(E) 35
第4层 OH-14(A) 136.5
第5层 SiO2(E) 91
第6层 SURFCLEAR 100(M) 12～14
Air ― ―

※仅限基板单面成膜ム機

测定结果

分光特性
AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

Fig.6　AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

AR+AF膜的分光特性(透光率)

Fig.7　AR+AF膜的分光特性(透光率)

AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

Fig.8　AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)

Fig.9　AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)

对 水 的 接触角 评价
接触角 117[deg.]

純水2.5 [μL]，5回測定平均値

耐摩耗性
耐磨耗試験NG 回数 3000～5000 ［次］

磨损材料：钢棉#0000　　载荷：1kg

3 脱气Nb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜构成

蒸镀材料

设定膜厚[nm]
基板 BK7 ―
第1层 SiO2(E) 20
第2层 脱气Nb2O5 15
第3层 SiO2(E) 36
第4层 脱气Nb2O5 120
第5层 SiO2(E) 86
第6层 SURFCLEAR 100(M) 12～14
Air ― ―

※仅限基板单面成膜ム機

如需了解各成膜条件及测定条件等详细信息，请从这里进入咨询。

测定结果

分光特性
AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

Fig.6　AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)

AR+AF膜的分光特性(透光率)

Fig.7　AR+AF膜的分光特性(透光率)

AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

Fig.8　AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)

AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨

Fig.9　AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨

对 水 的 接触角 评价
接触角 117[deg.]

水 2.5 [ μ L] 5 次 测定平均值

耐磨损试验
耐磨耗試験NG 回数 3000～4000 ［次］

磨损材料：钢棉#0000　　载荷：1kg

SURFCLEAR100

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