成膜事例
介绍搭配了防止反射和防污涂层的成膜事例。
1 OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜构成
蒸镀材料 |
设定膜厚[nm] |
|
---|---|---|
基板 | BK7 | ― |
第1层 | SiO2(E) | 20 |
第2层 | OS-50 | 14 |
第3层 | SiO2(E) | 33 |
第4层 | OS-50 | 111 |
第5层 | SiO2(E) | 83 |
第6层 | SURFCLEAR 100(M) | 12~14 |
Air | ― | ― |
※仅限基板单面成膜ム機
测定结果
分光特性
![AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-os50_ch_6.gif)
Fig.6 AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)
![AR+AF膜的分光特性(透光率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-os50_ch_7.gif)
Fig.7 AR+AF膜的分光特性(透光率)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)](/ja/img/evaporation/examples/graph-os50_ch_8.gif)
Fig.8 AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)](/ja/img/evaporation/examples/graph-os50_ch_9.gif)
Fig.9 AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)
对 水 的 接触角 评价 |
|
---|---|
接触角 | 117[deg.] |
水 2.5 [ μ L] 5 次 测定平均值
耐磨损试验 |
|
---|---|
耐磨耗試験NG 回数 | 3000~4000 [次] |
磨损材料:钢棉#0000 载荷:1kg
2 OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜构成
蒸镀材料 |
设定膜厚[nm] |
|
---|---|---|
基板 | BK7 | ― |
第1层 | SiO2(E) | 15 |
第2层 | OH-14(A) | 16.5 |
第3层 | SiO2(E) | 35 |
第4层 | OH-14(A) | 136.5 |
第5层 | SiO2(E) | 91 |
第6层 | SURFCLEAR 100(M) | 12~14 |
Air | ― | ― |
※仅限基板单面成膜ム機
测定结果
分光特性
![AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-oh14_ch_6.gif)
Fig.6 AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)
![AR+AF膜的分光特性(透光率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-oh14_ch_7.gif)
Fig.7 AR+AF膜的分光特性(透光率)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)](/ja/img/evaporation/examples/graph-oh14_ch_8.gif)
Fig.8 AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)](/ja/img/evaporation/examples/graph-oh14_ch_9.gif)
Fig.9 AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨)
对 水 的 接触角 评价 |
|
---|---|
接触角 | 117[deg.] |
純水2.5 [μL],5回測定平均値
耐摩耗性 |
|
---|---|
耐磨耗試験NG 回数 | 3000~5000 [次] |
磨损材料:钢棉#0000 载荷:1kg
3 脱气Nb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜构成
蒸镀材料 |
设定膜厚[nm] |
|
---|---|---|
基板 | BK7 | ― |
第1层 | SiO2(E) | 20 |
第2层 | 脱气Nb2O5 | 15 |
第3层 | SiO2(E) | 36 |
第4层 | 脱气Nb2O5 | 120 |
第5层 | SiO2(E) | 86 |
第6层 | SURFCLEAR 100(M) | 12~14 |
Air | ― | ― |
※仅限基板单面成膜ム機
如需了解各成膜条件及测定条件等详细信息,请从这里进入咨询。
测定结果
分光特性
![AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-de-gas_ch_6.gif)
Fig.6 AR+AF膜的分光特性(透光率+反射率)
![AR+AF膜的分光特性(透光率)](/ja/img/evaporation/examples/graph-de-gas_ch_7.gif)
Fig.7 AR+AF膜的分光特性(透光率)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)](/ja/img/evaporation/examples/graph-de-gas_ch_8.gif)
Fig.8 AR+AF膜的分光特性(反射率/双面研磨基板)
![AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨](/ja/img/evaporation/examples/graph-de-gas_ch_9.gif)
Fig.9 AR+AF膜的分光特性(反射率/单面研磨
对 水 的 接触角 评价 |
|
---|---|
接触角 | 117[deg.] |
水 2.5 [ μ L] 5 次 测定平均值
耐磨损试验 |
|
---|---|
耐磨耗試験NG 回数 | 3000~4000 [次] |
磨损材料:钢棉#0000 载荷:1kg
如需了解各成膜条件及测定条件等详细信息,请从这里进入咨询。