产品一览

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	折射率 ※1	产品名称	主要成分	pellet ※2	粒状 ※3	蒸発源		应力 ※4	备考
						EB	电阻加热
光学膜材料	1.33	Chiolite	Na5Al3F14	○	○	○	Mo,Ta	-
	1.35	Cryolite	Na3AlF6	-	○	○	Mo,Ta	T
	1.36	AlF3	AlF3	-	○	×	Mo,Ta,W	T
	1.38	MgF2	MgF2	○	○	△	Mo,Ta	T
	1.43	CaF2	CaF2	-	○	△	Mo,Ta,W	T
	1.47	SiO2	SiO2	○	○	○	-	C
	1.48	BaF2	BaF2	-	○	○	Mo,Ta,W	-	红外线范围透明
	1.48	S4F	SiO2+Al2O3	-	○	○	×	C
	1.48	S5F	SiO2+Al2O3	○	○	○	×	C
	1.52	YF3	YF3	-	○	○	×	-
	1.59	LaF3	LaF3	-	○	×	Mo,Ta	T(薄膜)/C(厚膜)
	1.60	CeF3	CeF3	-	○	×	Mo,Ta,W	T
	1.60	NdF3	NdF3	-	○	×	Mo,Ta	-
	1.64	Al2O3	Al2O3	○	○	○	×	T	酸素導入で安定
	1.69	OM-4	ZrO2+Al2O3	○	-	○	×	T
	1.7-2.0	SiO	SiO	○	○	△	Mo,Ta	T
	1.7-2.0	LUMILEAD　SiO	SiO	-	○	△	Mo,Ta	T	低喷溅型
	1.74	MgO	MgO	-	○	○	×	C
	1.75	OM-6	ZrO2+Al2O3	○	-	○	×	T
	1.81	Y2O3	Y2O3	○	○	○	×	-
	1.99	I.T.O	In2O3+SnO2	○	○	○	Ta,W	C	透明导电膜
	2.00	OH-14	La2Ti2O7	-	○	○	×	T
	2.00	Nb2O5	Nb2O5	-	○	○	×	T/C(IAD)
	2.00	脱ガスNb2O5	Nb2O5	-	○	○	×	T/C(IAD)	酸素導入必要
	2.05	OA-100	Ta2O5	-	○	○	×	T	酸素導入必要
	2.06	HfO2　※6	HfO2	○	○	○	×	T	紫外线范围透明
	2.07	ZrO2	ZrO2	○	○	○	×	T/C(200℃)
	2.10	ZrO2+Ta2O5	ZrO2+Ta2O5	○	-	○	×	-
	2.13	CeO2	CeO2	○	○	○	W	C	吸收紫外线
	2.14	WO3	WO3	○	-	○	W	-
	2.15	OH-2	ZrO2+TiO2	○	-	○	×	T
	2.16	OH-6	ZrO2+TiO2	○	-	○	×	T
	2.18	OH-5	ZrO2+TiO2	○	-	○	×	T
	2.20	Ta2O5	Ta2O5	-	○	○	×	T
	2.22	OA-500	Ta2O5+ZrO2	-	○	○	×	-
	2.24	OA-600	Ta2O5+TiO2	-	○	○	×	-
	2.30	ZnS	ZnS	○	○	○	Mo,Ta	C
	2.30	OS-30	Ti3O5	○	-	○	W	T	酸素導入必要
	2.31	OS-50	Ti3O5	-	○	○	W	T	酸素導入必要
	2.33	OS-10	Ti4O7	-	○	○	W	T	酸素導入必要
	2.33	Ti2O3	Ti2O3	-	○	○	W	T	酸素導入必要
	2.35	TiO	TiO	-	○	○	W	T	酸素導入必要
	2.35	TiO2	TiO2	-	○	○	×	T
金属膜等 其他材料	-	Ag	Ag	-	○	△	Mo,Ta	-
	-	Al	Al	○	-	△	W	-	主要形状为线形
	-	Au	Au	-	○	△	W	-
	-	Cｒ	Cｒ	-	○	-	W	-
	-	Ni	Ni	-	○	△	W	-
功能膜材料	1.35	SURFCLEAR100	疏油材料	○	-	×	Mo,Ta,W	-	有机材料
	1.35	OF-SR	疏油材料	○	-	×	Mo,Ta,W	-	有机材料
	1.55	PHILICFINE HP-1	亲水材料	-	○	○	×	-	请使用Mo或W坩埚
	1.65	PHILICFINE HP-2	亲水材料	-	○	○	×	-	请使用Mo或W坩埚
	1.81	PHILICFINE HP-3	亲水材料	-	○	○	×	-	请使用Mo或W坩埚
	2.54 ※5	LUMILEAD　TNO	Ti3O5	-	○	○	×	T	防静电

※1）折射率为波长500nm时的参考值。
※2）※3）表示形状不同。
※4）T:拉伸、C:压缩
※5）波长550nm时的光谱型椭偏仪测量值。（相同条件下OS-50折射率：2.56）
※6）属于日本《外汇及外国贸易法》的清单管制对象产品，出口时需要得到经济产业大臣的批准。
出口时，应遵守日本及出口对象国的法律法规。