蒸着材料の種類
| 成分 | 50種類以上 |
|---|---|
| 形状 | 成形体(タブレット型、扇型、リング型）、粒状など |
成分
蒸着材料の多くは、高純度の金属酸化物などを焼き固めて作られています。金属酸化物以外に、フッ化物、金属、有機物もあり、溶融して作るものもあります。物質によって特性が異なるため、50種類以上の成分の蒸着材料があります。何層もの薄膜で基板を覆うことで、様々な機能を実現します。
形状
タブレット型、扇型、リング型の成形体や粒状などさまざまな形状の製品があります。
成膜装置や用途に合わせた形状を選択して使用します。
特長
| 特長 | 成形体取り扱いが容易 |
|---|---|
| 粒状 | 蒸着材料の継ぎ足しが可能で、連続蒸着に最適 |
特殊な蒸着材料
- 電子ビームの強力なエネルギーに耐えうる熱衝撃性の成形体
- 薄膜の強度や耐久性に悪影響を及ぼす蒸着源からの放出ガスを低レベルに抑えた脱ガス品
成分と形状を組み合わせると弊社では750種類ほどの製品を取り扱っています。