成膜事例
反射防止と防汚コートを組み合わせた成膜事例を紹介します。
1 OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜構成
|
蒸着材料（基板） |
設定膜厚 [nm] |
|
|---|---|---|
| 基板 | BK7 | ― |
| 1層目 | SiO2(E) | 20 |
| 2層目 | OS-50 | 14 |
| 3層目 | SiO2(E) | 33 |
| 4層目 | OS-50 | 111 |
| 5層目 | SiO2(E) | 83 |
| 6層目 | SURFCLEAR 100(M) | 12～14 |
| Air | ― | ― |
※基板片面にのみ成膜
測定結果
分光特性
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
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水に対する接触角 |
|
|---|---|
| 接触角 | 117[deg.] |
純水2.5 [μL]，5回測定平均値
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耐摩耗性 |
|
|---|---|
| 耐磨耗試験NG 回数 | 3000～4000 ［回］ |
摩耗材料：スチールウール 摩耗荷重：1kg
2 OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜構成
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蒸着材料（基板） |
設定膜厚 [nm] |
|
|---|---|---|
| 基板 | BK7 | ― |
| 1層目 | SiO2(E) | 15 |
| 2層目 | OH-14(A) | 16.5 |
| 3層目 | SiO2(E) | 35 |
| 4層目 | OH-14(A) | 136.5 |
| 5層目 | SiO2(E) | 91 |
| 6層目 | SURFCLEAR 100(M) | 12～14 |
| Air | ― | ― |
※基板片面にのみ成膜
測定結果
分光特性
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
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水に対する接触角 |
|
|---|---|
| 接触角 | 117[deg.] |
純水2.5 [μL]，5回測定平均値
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耐摩耗性 |
|
|---|---|
| 耐磨耗試験NG 回数 | 3000～5000 ［回］ |
摩耗材料：スチールウール 摩耗荷重：1kg
3 脱ガスNb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100
膜構成
|
蒸着材料（基板） |
設定膜厚 [nm] |
|
|---|---|---|
| 基板 | BK7 | ― |
| 1層目 | SiO2(E) | 20 |
| 2層目 | 脱ガスNb2O5 | 15 |
| 3層目 | SiO2(E) | 36 |
| 4層目 | 脱ガスNb2O5 | 120 |
| 5層目 | SiO2(E) | 86 |
| 6層目 | SURFCLEAR 100(M) | 12～14 |
| Air | ― | ― |
※基板片面にのみ成膜
各成膜条件を知りたい方は、問い合わせページよりお問い合わせください。
測定結果
分光特性
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
|
水に対する接触角 |
|
|---|---|
| 接触角 | 117[deg.] |
純水2.5 [μL]，5回測定平均値
|
耐摩耗性 |
|
|---|---|
| 耐磨耗試験NG 回数 | 3000～4000 ［回］ |
摩耗材料：スチールウール 摩耗荷重：1kg
各成膜条件や測定条件など詳しい情報をご要望の方は、問い合わせページよりお問い合わせください。