成膜事例

反射防止と防汚コートを組み合わせた成膜事例を紹介します。

1 OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料(基板)

設定膜厚 [nm]

基板 BK7
1層目 SiO2(E) 20
2層目 OS-50 14
3層目 SiO2(E) 33
4層目 OS-50 111
5層目 SiO2(E) 83
6層目 SURFCLEAR 100(M) 12~14
Air

※基板片面にのみ成膜

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)

AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)

AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)

AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)

水に対する接触角

接触角 117[deg.]

純水2.5 [μL],5回測定平均値

耐摩耗性

耐磨耗試験NG 回数 3000~4000 [回]

摩耗材料:スチールウール  摩耗荷重:1kg

2 OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料(基板)

設定膜厚 [nm]

基板 BK7
1層目 SiO2(E) 15
2層目 OH-14(A) 16.5
3層目 SiO2(E) 35
4層目 OH-14(A) 136.5
5層目 SiO2(E) 91
6層目 SURFCLEAR 100(M) 12~14
Air

※基板片面にのみ成膜

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)

AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)

AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)

AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)

水に対する接触角

接触角 117[deg.]

純水2.5 [μL],5回測定平均値

耐摩耗性

耐磨耗試験NG 回数 3000~5000 [回]

摩耗材料:スチールウール 摩耗荷重:1kg


3 脱ガスNb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料(基板)

設定膜厚 [nm]

基板 BK7
1層目 SiO2(E) 20
2層目 脱ガスNb2O5 15
3層目 SiO2(E) 36
4層目 脱ガスNb2O5 120
5層目 SiO2(E) 86
6層目 SURFCLEAR 100(M) 12~14
Air

※基板片面にのみ成膜

各成膜条件を知りたい方は、問い合わせページよりお問い合わせください。

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6 AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)

AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7 AR+AF膜の分光特性(透過率)

AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8 AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)

AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9 AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)

水に対する接触角

接触角 117[deg.]

純水2.5 [μL],5回測定平均値

耐摩耗性

耐磨耗試験NG 回数 3000~4000 [回]

摩耗材料:スチールウール  摩耗荷重:1kg


各成膜条件や測定条件など詳しい情報をご要望の方は、問い合わせページよりお問い合わせください。