成膜事例

反射防止と防汚コートを組み合わせた成膜事例を紹介します。

  1. OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100
  2. OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100
  3. 脱ガスNb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100

① OS-50, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料（基板） 設定膜厚 [nm]
基板BK7―
1層目SiO2(E)20
2層目OS-5014
3層目SiO2(E)33
4層目OS-50111
5層目SiO2(E)83
6層目SURFCLEAR 100(M)12～14
Air――

※基板片面にのみ成膜

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6　AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7　AR+AF膜の分光特性(透過率)
AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8　AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9　AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
水に対する接触角
接触角117[deg.]

純水2.5 [μL]，5回測定平均値

耐摩耗性
耐磨耗試験NG 回数3000～4000 ［回］

摩耗材料：スチールウール　　摩耗荷重：1kg

② OH-14, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料（基板） 設定膜厚 [nm]
基板BK7―
1層目SiO2(E)15
2層目OH-14(A)16.5
3層目SiO2(E)35
4層目OH-14(A)136.5
5層目SiO2(E)91
6層目SURFCLEAR 100(M)12～14
Air――

※基板片面にのみ成膜

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6　AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7　AR+AF膜の分光特性(透過率)
AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8　AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9　AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
水に対する接触角
接触角117[deg.]

純水2.5 [μL]，5回測定平均値

耐摩耗性
耐磨耗試験NG 回数3000～5000 ［回］

摩耗材料：スチールウール　摩耗荷重：1kg

③ 脱ガスNb2O5, SiO2(E), SURFCLEAR 100

膜構成

蒸着材料（基板） 設定膜厚 [nm]
基板BK7―
1層目SiO2(E)20
2層目脱ガスNb2O515
3層目SiO2(E)36
4層目脱ガスNb2O5120
5層目SiO2(E)86
6層目SURFCLEAR 100(M)12～14
Air――

※基板片面にのみ成膜

各成膜条件を知りたい方は、問い合わせページよりお問い合わせください。

測定結果

分光特性

AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
Fig.6　AR+AF膜の分光特性(透過率+反射率)
AR+AF膜の分光特性(透過率)
Fig.7　AR+AF膜の分光特性(透過率)
AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
Fig.8　AR+AF膜の分光特性(反射率/両面研磨基板)
AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
Fig.9　AR+AF膜の分光特性(反射率/片面研磨)
水に対する接触角
接触角117[deg.]

純水2.5 [μL]，5回測定平均値

耐摩耗性
耐磨耗試験NG 回数3000～4000 ［回］

摩耗材料：スチールウール　　摩耗荷重：1kg

SURFCLEAR

各成膜条件や測定条件など詳しい情報をご要望の方は、問い合わせページよりお問い合わせください。

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